2 系统的硬件设计
    PLC控制系统的硬件是由PLC，输入／输出电路以及外围设备等组成的。系统的规模根据真空热处理工艺需要而定，真空热处理炉的PLC顺序控制系统的硬件组成图3所示。

    由于真空热处理炉带有闭环控制、PID调节、通信连网等，故控制线路较为复杂，因此选择大中型PLC方能满足要求。由于本控制系统控制的对象是容积为10立方米的热处理真空炉，确定采用PLC型号为S7-300，抽真空系统的外部组件连接见图4。其中NL1-NL3为机械泵，ND1，ND2为扩散泵，NZ1为罗兹泵．VP1-VP13为气动阀门，BW1-BW5为泵体冷却器，PT1-PT4，PA1，PA2。PA3为真空传感器，PD1-PD3为压力表。由机械泵NL1，NL2，NL3抽初级真空，NZ1抽中级真空，ND1，ND2抽高级真空。

3 PLC控制系统软件设计步骤
    (1)制定真空炉运行方案。根据热处理工艺的要求，分析热电偶、真空度等输入参数与控制接触器和固态继电器等的输出信号与各种操作之间的逻辑关系，确定需要检测的量和控制的方法。并设计出真空炉系统中各设备的操作内容和操作顺序。据此可画出流程图。
    (2)画抽真空和温度控制流程图。
    (3)制定PLC控制系统的抗干扰措施，比如电源隔离、外围电路的光电偶合。
    (4)编写程序，根据被控对象输入如热电偶和输出信号如控制固态继电器的脉冲及所选定PLC型号，分配硬件资源，为梯形图的各种继电器或接点进行编号，再按照技术说明，用梯形图进行编程。