为了提高精度，DSP内部按照浮点数据格式运算，但是送给FPGA的数据却是整型数据，所以在从浮点转整型数据的过程中，小数位被丢失。当矢量个数很多时，舍弃的小数位数据进行大量累积，使加工效果变差。作为一个现场可编程逻辑芯片，FPGA因为其高速同步的特点，被用于对电机的控制，但其也有自身的缺陷。在排除了其他误差的可能性后，对FPGA的性能进行了标定，发现随着速度的提高，FPGA的输出会产生错误。根据高精度计数器的标定，当电机控制信号速度变大后，会有不同程度的脉冲个数丢失。
      在经过对上面两个误差的修正后，选用硅（100）进行了部分微加工的实验。通过光学显微镜对结果进行观测可知，系统实现了较好的微加工效果。在空气环境下，采用20 kHz的激光频率，获得激光输出能量为150 μJ，在2 mm/s的运动速度下加工出微六边形，如图6所示。

    为了满足微加工的需要，设计了纳秒脉冲激光微加工系统，尤其是实现了具有图形解析和高速数据处理功能的控制单元，解决了现有设备的关键问题，使加工系统在操作性和精度上都有很大提升，为下一步工作的展开奠定了良好的基础。
参考文献
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