2 GMR生物检测系统设计
当前,国际国内已经开展了基于不同技术的生物磁场检测设备研究,涉及自旋阀传感器(Spin Valves)、感应传感器(Inductive Sensors)、超导量子干涉仪(SQUIDs)、各向异性磁阻(AMR)环式传感器、小规模的霍耳组合传感器(Hall Crosses)以及隧道结(TMR)传感器等。
1998年,作为美国国防部高级研究规划局(DAR-PA)支持项目,美国海军研究实验室与NVE公司合作,由David R.:Baselt等开展了基于巨磁阻技术的生物传感器研究,并设计制备了两代GMR传感器的磁珠阵列计数器(.BARcⅡ,BARcⅢ)进行生物杂交分析,并用于测量在单个分子水平上的DNA-DNA,以及抗体抗原对和受体一配体对的结合力。德国比勒菲尔德(Bielefeld)大学、美国佛罗里达州立大学、美国斯坦福大学、葡萄牙国立计算机系统与工程研究所(INESC一MN)等研究机构也相继开展了磁性传感器阵列的生物检测研究。国内多所高校和研究所,如中科院物理研究所、清华大学、同济大学例、电子科技大学、中山大学等,自2005年起,对巨磁阻生物传感器阵列设计、传感器材料的选取、磁性标记与传感器尺寸关系、输出信号处理等方面进行了广泛的研究,实现了单个纳米尺度颗粒的检测,并申请了相关的专利。
上述研究中采用的阵列方案和传感器形态各异,从布局上可以类分为规则排列阵列或分区排列阵列;矩形传感器或蛇形传感器。
图4(a)是Guanxiong Li等在约7 mm×8 mm的芯片表面上制备的自旋阀传感器阵列,阵列包含60个亚微米级的条形自旋阀传感器,呈2个纵列排列,每列30个传感器单元,每个单元两头通过ion束沉积厚约300 nm的铝作为引线,而中间未被覆盖的条形区域作为生物反应区,用于感应与其易轴同向的磁场分量。
图4(b)是David R.Baselt等设计制备的含66个GMR单元的传感器阵列(BARCⅢ),分为8个反应区,每区8个单元,可进行多路检测。其单元呈圆形,直径为200μm,由长8 mm宽1.6μm的电阻蛇形蜿蜒而成。