现在Heidenhain玻璃透射光栅和金属反射光栅的栅距只采用20μm和40μm,对衍射光栅栅距采用4μm和8μm,(1nm光栅除外)光学二倍频后信号周期为2μm和4μm。Heidenhain要求开式光栅一个信号周期的位置偏差仅为±1%,闭式光栅仅为±2%,光栅信号周期及位置偏差见表1。
表2 光栅信号周期及位置偏差
光栅类别-信号周期(μm)-一个信号周期内的位置偏差(μm)
几何光栅-20和40-开启式光栅尺±1%,即±0.2~±0.4;封闭式光栅尺±2%,即±0.4~±0.8
衍射光栅-2和4-开启式光栅尺±1%,即±0.02~±0.04;封闭式光栅尺±2%,即±0.02~±0.08
2.信号的处理及栅距的细分
光栅的测量是将一个周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合在一起,也就是说在栅距的一个周期内将栅距细分后进行绝对的测量,超过周期的量程则用连续的增量式测量。为了保证测量的精度,除了对光栅的刻划质量和运动精度有要求外,还必须对光栅的莫尔条纹信号的质量有要求,因为这影响电子细分的精度,也就是影响光栅测量信号的细分数(倍频数)和测量分辨力(测量步距)。栅距的细分数和准确性也影响光栅测量系统的准确度和测量步距。对莫尔条纹信号质量的要求主要是信号的正弦性和正交性要好;信号直流电平漂移要小。对读数头中的光电转换电路和后续的数字化插补电路要求频率特性好,才能保证测量速度大。
Heidenhain有专门为光栅传感器和CNC相联结设计了光栅倍频器,也就是将光栅传感器输出的正弦信号(一个周期是一个栅距)进行插补和数字化处理后给出相位相差90°的方波,其细分数(倍频数)有5、10、25、50、100、200和400,再考虑到数控系统的4倍频后对栅距的细分数有20、40、100、200、400、800和1600,能实现测量步距从1nm到5μm,倍频数选择取决于光栅信号一个栅距周期的质量。随着倍频数的增加光栅传感器的输出频率要下降,倍频器的倍频细分数和输入频率的关系见表3。
表3 倍频器的倍频细分和输入频率
倍频细分数:0-2-10-25-50-100-200-400
输入频率(KHz):600-500-200-100-50-25-12.5-6.25
选择不同的倍频数可以得到不同的测量步距。在Heidenhain的数显表中可以设置15种之多的倍频数,最高频数可达1024,即1、2、4、5、10、20、40、50、64、80、100、128、200、400、1024。在微机上用的数量卡最大倍频数可到4096。
3.光栅的参考标记和绝对座标
(1)光栅绝对位置的确立
光栅是增量测量,光栅尺的绝对位置是利用参考标记(零位)确定。参考标记信号的宽度和光栅一个栅距的信号周期一致,经后续电路处理后参考信号的脉冲宽度和系统一个测量步距一致。为了缩短回零位的距离,Heidenhain设计了在测量全长内按距离编码的参考标记,每当经过两个参考标记后就可以确定光栅尺的绝对位置,例如栅距为4μm和20μm的光栅尺扫描单元相对于标尺移动20mm后就可确定绝对位置,栅距为40μm的光栅尺要移动80mm才能确定绝对位置。