精密测量单元
精密测量单元（PMU）是系统精密测量直流参数的基本单元。系统采用12位A/D和D/A转换器、分档以及开尔文接法等手段来实现高精度测量。PMU可实现加压测流(FVMI)和加流测压(FIMV)两种工作方式。其中PMU中加压测流原理图如图3所示。Vin作为输入，器件施加电压Vp经测试接口板施加到DUT，通过测试Vout可得到到测试电流I。根据电路图可以计算出：

这样，根据公式（1），通过控制Vin就可以向被测器件施加设定的电压Vp，根据公式（2）可通过测试Vout来计算被测器件管脚上流过的电流I。

直流参数测试中，PMU可通过测试输出端高/低电平、输入端漏电流、输出短路电流以及静态功耗电流等来检测器件的负载特性和静态功耗。

为了使PMU具有足够宽的测试范围和测试精度，A3采用具有FET输入级的高压运放OPA445，接成跟随器，使得流入A3的电流极小，保证了电流测试的精度，并且其高压特性保证了PMU的测试范围。

软件部分
软件部分的作用是用计算机控制测试系统，并为用户提供一个友好、易于操作的界面。下位机软件用C51程序编写，主程序流程图如图4所示。上位机采用VC#.net编写。下位机软件的主要工作是根据上位机传送的测设参数设置系统电压及测试条件，载入测试向量向DUT管脚发送输入波形，然后测试输出端波形数据，发送到上位机并存储到数据库。

经过用户的实际应用，证明该系统性价比高，测试准确。