从简单的精度约30 000ppm的RC振荡器，到精度优于0.001ppb的原子钟，有很多满足不同应用要求的时钟选项。多年以来，体声波(BAW)晶体振荡器可用以满足大多数要求，它提供的精度在10ppm范围内。精度低一些的选择，如SAW振荡器、陶瓷振荡器以及IC振荡器，它们各自具有其满足特定需求的优势。

长期以来，石英基器件被作为大多数其他定时器件用来比较的标准。石英作为频率选择与定时器件的稳定、可控的高质量材料的历史得到了广泛认可，并且频率温度响应、老化率以及抖动与相位噪声特性也在业界被详尽记载。

图1 相位噪声图

与基于MEMS的振荡器相关的最新介绍常常伴有一些论断，认为该技术可提供更低的成本、更短的设计与生产周期、卓越的冲击与振动性能以及更为出色的信号质量，从而将最终取代石英。除了这些论断外，已获得的能够有助于理解MEMS振荡器特性的研究极少。本研究力图提供MEMS振荡器与传统基于石英谐振器的振荡器的直接对比。多年以来，体声波晶体振荡器以其10×10-6精度范围满足了绝大多数需求。

研究方法
这里给出的结果基于典型频率控制的业界测量技术的应用，并代表了在2008年进行此研究时获得的商业化技术。许多电特性被评估，包括频率温度特性、相位噪声/抖动、短期稳定度、启动时间、电流与长期稳定度(老化率)。

上述产品均为CMOS电平输出，工作在3.0或3.3V，输出频率为25～50MHz。测试的BAW石英晶体振荡器，25MHz时为基谐波模式，50MHz时为三阶谐波模式。这里给出的结果为典型器件的测试值或该型号的多个器件的平均值。

相位噪声/抖动
这里采用安捷伦（Agilent）5052信号源分析仪测试系统进行测量。该系统测量除有效信号外的其他输出信号电平，它还是实际主输出电平的参考。振荡器在同样的电容器旁路的带15pF负荷的固定设备中工作，由低噪声Agilent线性电源供电。

如图1所示，较高的相位噪声水平表明MEMS振荡器技术并不是一项等效技术。Agilent测试系统测试结果表明，当前通信与数据传输应用很可能出现抖动的问题。

相位噪声图很好地展示了这些采用了不同技术的器件的设计与特性。邻近区相位噪声水平(<1kHz)主要取决于Q值或谐振器的选择，石英BAW谐振器的选择性远高于其他MEMS器件。

(a)和MEMS2谐振振荡器