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Fourier变换轮廓术中参数的选择和优化研究
来源:本站整理  作者:佚名  2009-04-24 15:11:16




    引入物面倾面将式(3)代入后有:

   
    由式(4)可知,当减小夹角θ时,tgθ亦减小,fn得到压缩,而等效波长λc却增大,所以频谱的压缩是以系统测量精度的降低为代价的。
    压缩夹角θ,使基频同零频和高频完全分离,须满足条件:

    
    式中,fb为零频最大值。解得各次谱完全分离时夹角θ所必须满足的条件为:

   
    必须对(f0-fb)/f0与1/3进行比较,以决定θ的选择。不考虑零频的影响,假设各次频谱完全分离时的夹角为θc,则θc由下式确定:

    

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