CV转换模块的原理如图5所示，其中虚线部分表示机械部分单轴等效电容。该结构采用辅助运放抵消了等效电容的共模部分，只对等效电容的差模部分敏感，并采用时序控制开关电容电路以得到更高的增益和更低的噪声性能。该电路的输入输出关系为
   

4 仿真结果
    MEMS陀螺仪信号处理芯片采用TSMC 0．35μm2P4M工艺实现，版图面积为4 mm×4 mm，整体版图如图6所示。

   仿真结果如图7和图8所示，图7表明驱动环路能够稳定工作，图8的波形是75°／s(100Hz)输入角速度的输出波形，输出电压峰值为0.5V。

5 结束语
    MEMS陀螺仪信号处理电路是实现MEMS陀螺仪产业化的关键，文中设计了一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路，并基于TSMC 0．35μm 2P4M工艺实现。MEMS陀螺仪的难点是系统分析，文中分析了闭环驱动稳定性，并设计了一个对传感器电容共模部分不敏感的CV转换模块，仿真显示MEMS陀螺仪整体工作正常，具体指标如表1所示。

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