1．3 电流的限制
    半导体材料电阻率测量时对流过样品的电流有比较严格的要求：
    (1)电流不能过小，以确保内侧探针间电压可测；
    (2)电流不能过大，以减小热效应对样品电阻率的影响；
    (3)测量较大电阻率样品时，应该减小注入电流，以减小少子注入的影响。
    流通电流影响样品电阻率值，但是通常电阻率不受电流影响的范围是很广的，根据这个范围的界限可以得出安全操作电流。
    本方法中流经测试样品的电流：
   

2 系统设计
    系统采用LPC2148 ARM7芯片为数学运算和控制的核心单元，系统结构如图3所示。

2．1 控制处理单元
    控制处理单元包括LCD液晶显示电路、键盘输入电路、串口通信电路、反馈控制电路1和2和微控制器。预置限流电阻Rc用于限定小电阻率材料测量时通过的电流，流过的电流可由式(9)计算得出。全量程范围内可保证测量电流小于2 mA。各参数与档位如表1所示。

2．2 信号调理单元
    包括可控恒压产生电路、差分放大电路、比率测量电路和模数(A／D)转换电路。恒压源采用ADR01，产生10 V的基准电压输出，进一步得到0．1 V和0．01 V的基准信号；图2中内侧两探针间电压的测量采用AD620差分放大电路及高精度运放AD546，通过反馈控制电路2调节增益电阻RG来改变输出信号的幅度；模／数转换电路采用16位的∑-△型AD7705，使用3.401V参考电压时测量分辨率到达52μV／LSB。如图4所示。

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