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CCD图像传感器在光栅传感器中的研究与应用
来源:本站整理  作者:佚名  2011-06-10 08:49:27



光栅传感器的作用是能够实现精密测量,其测量原理建立在莫尔条纹的基础上。由于光的干涉效应,将等栅距的两块光栅以微小夹角重叠在一起,可以看到在近似垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹,称为莫尔条纹,如图1所示:B为莫尔条纹间距,W为光栅间距:  

  光栅线夹角θ小,莫尔条纹宽带B越大,相当于把W放大了1/θ倍,大大的提高了测量灵敏度,也方便了光电元件的放置。

  本文利用长光栅的位移传感器,借助CCD(电荷耦合器件)图像传感器代替传统的硅光电池检测莫尔条纹,完成了信号的细分,并实现对位移和角度的高精度测量。因此,若利用光栅精密测量位移或角度,可利用光电元件测出莫尔条纹的移动,通过脉冲计数得到度量。

  测量系统结构及工作方式

  以位移测量为例,通常光栅传感器是由光路系统、一对光栅副、与指示光栅相对位置固定的光电接收元件、整形细分电路组成。当光栅副中任一光栅沿垂直于刻线方向移动时,莫尔条纹就会沿近似垂直于光栅移动的方向运动。当光栅移动一个栅距时,莫尔条纹就移动一个条纹间隔B。光电接收元件将莫尔条纹的明暗强弱变化转换为电量输出。该正弦波经整形为方波,在一个完整的光栅测量系统中,后级电路(往往是以单片机为核心)接收该信号后,根据两路或多路信号的时序关系判别运动方向,并根据方波个数判断位移。

  光栅数字传感器的测量分辨率等于一个栅距。但是,在精密检测中常常需要测量比栅距更小的位移量,为了提高分辨率,可以采用两种方法实现:1)增加刻线密度来减小栅距,但是这种方法受光栅刻线工艺的限制。2)采用细分技术,在莫尔条纹变化一周期时,不只输出一个脉冲,而是输出若干个脉冲,以减小脉冲当量,提高分辨力。细分的方法有多种,如直接细分、电桥细分、锁相细分、调制信号细分和软件细分等。下面介绍论文采用的4倍直接细分的信号处理过程。

  根据莫尔条纹的性质,光电元件产生的信号近似为正弦波。A、B为两个光电元件,使A、B的位置相距1/4B那么A、B输出的正弦信号相位差π/2,如图2所示。设莫尔条纹移动方向为从A到B。A领先Bπ/2,A、B两路信号经整形后变为方波,以1/4个周期为单位时间,则在一个周期内的4个单位时间内,A依次为1、1、0、0,B依次为0、1、1、0,AB代表的二进制数为10,11,01、00,即光栅移动一个栅距内,可以得到4组信号,根据不同的信号值从而将位移确定在1/4个栅距内,实现了4倍细分。同时根据AB代表的系列值可以判断移动方向。

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