以氦（He）原子为例，在真空的环境下：施以外加的能量（光能或电能），将会使光手或电子赶走原本在氦（He）原子内的电子，使得氮原子转变成带正电的氮离子（He+）和带负电的电子（e-）。而当带正电的氮离子（He+）和带负电的电子（e-）互相结合时，根据能量守恒定律，则会将能量放出，而此通常以光能的形态呈现。此即为电激辉光放电的原理。等离子辉光放电原理图参见图。

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