压电泵腔体里的压力分布会随着阀孔位置的改变而发生变动。压电泵开始工作，液体经阀孔轴向流进腔体，然后径向平行于腔体流动，再经阀孔排出，因此可按径向和轴向两个方向分析压电泵内的液体压力。如图5所示为径向时腔体的压力分布，呈抛物线形状，越靠近振子中心压力越大。而图6表示为轴向时腔体的压力情况，呈对数形状，阀孔处压力较小，边缘处压力达到峰值。因为压电振子采用周边固定支撑所以发生变形时中心处挠度最大，对腔体体积的影响亦最大。可断定压电泵腔体内径向压力的影响强于轴向压力。因此设计阀孔位置尽可能接近振子的中心处，降低压力对振子的反作用力，减小振子形变时的阻碍。
    阀孔的尺寸越大，位置越靠近阀片边缘，压电泵的流量越大。但太过靠近阀片边缘，截止阀闭合时会无法完全遮住孔径，发生图7中B位置所示的截止失效。根据以往经验和试验检测，确定阀孔距离阀片外侧的最佳值是1 mm。同样会出现截止失效的另一种情况如图7中A位置所示，阀孔尺寸太大，截止阀过度变形致使产生倒流。为了确定最佳的阀孔尺寸和足够的阀孔面积确保不影响压电泵的输出能力，本文根据试验结果采用了6个1.7 mm直径的阀孔。





    压电泵的泵腔体积对泵的输出能力有很大的影响。压电泵的输出流量与泵腔高度成正比，而输出压力与泵腔高度成反比。所以泵腔高度的合理范围为0.3～0. 8 mm。

    4 结束语
    本设计的压电泵采用双晶片压电振子串联而成，通过伞形橡胶截止阀控制输出。同时优化影响因素，确定阀孔的位置尽量靠近压电振子的中心，阀孔与阀片边缘距离1 mm，阀孔直径1. 7 mm，泵腔高度0.3～0. 8 mm，提高压电泵的输出性能，增大工作效率。
 

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